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一、晶圆光学检测设备的应用：
从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆，甚至整个平板显示器，检测期间不会对样品造成破坏。AxioImagerVario支持的z大样品高度为254mm，z大横向样品空间为300mm，大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。
二、晶圆光学检测设备的特点：
（1）具有两种手动机柱和一种电动机柱（配有符合工业标准的三个模式控制按钮）可供选择，充分利用显微镜的z大横向样品空间300mmx300mm和z大样品高度254mm的优势。
（2）AxioImagerVario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品，依然可以获得高聚焦精度和可重复性。
（3）借助硬件自动对焦功能，可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
（4）将AxioImagerVario与LSM900结合使用，能够以高分辨率无接触地分析敏感样品。
（5）AxioImagerVario已通过DINENISO14644-1认证，并满足5级洁净室的应用要求。
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晶圆探针台