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一、概述
SR-M 针对特定微小区域，可提供微米级的聚焦光斑，同时利用显微物镜定位测量点，从而获取精准位置的厚度表征结果。
■ 光斑大小可进行定制，z小可达到10um；
■ 非接触、非破坏测量；
■ 核心算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析；
■ 配置灵活、支持定制化
二、产品特点
■ 采用高强度卤素光源，光源稳定性好；
■ 采用光机电高度整合一体化设计，体积小，操作简便；
■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析单层薄膜到多层；
三、产品应用
显微膜厚仪广泛应用于各种介质保护膜、有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜测量。
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